ISP 渦捲式真空幫浦
◆ 無油式設計，免保養
◆ 低振動，低噪音，低能耗
◆ 空氣冷卻，可捨去繁雜的冷卻水管理
◆ 極限真空度可達 1.6~20 Pa
◆ 抽速穩定高效，排氣量達 60~300 L/min
渦捲式真空幫浦 | 真空泵 : 產品特色
◆ 無油式設計，免保養
◆ 低振動，低噪音，低能耗
◆ 空氣冷卻，可捨去繁雜的冷卻水管理
◆ 極限真空度可達 1.6~20 Pa
◆ 抽速穩定高效，排氣量達 60~300 L/min
主要用途:
◆ 分析測試儀器 / 質譜儀 / 電子式顯微鏡
◆ 真空鍍膜（PVD / CVD / LPD等）
◆ 真空乾燥，真空脫泡
◆ 無塵室抽氣吸附
◆ 真空爐 / 單晶爐 / 烘箱
渦捲式真空幫浦 | 真空泵 : 訂購資訊
| 產品料號 | 產品名稱 |
| RON-ISP50-11 | ISP-50 渦捲式真空幫浦 15 Pa，60 L/min |
| RON-ISP90-11 | ISP-90 渦捲式真空幫浦 5 Pa，108 L/min |
| RON-ISP250E-11 | ISP-250E 渦捲式真空幫浦 1.6 Pa，300 L/min |
ISP 無油渦捲式真空幫浦規格
| 型號 | ISP-50 | ISP-90 | ISP-250E-SV (單相) SP-250E-TV (三相) | |
|---|---|---|---|---|
| 最大抽速 | 60Hz | 60 L/min | 108 L/min | 300 L/min |
| 50Hz | 50 L/min | 90 L/min | 250 L/min | |
| 最大真空度 | ≦ 15 Pa | ≦5 Pa | ≦1.6 Pa | |
| 噪音值 | ≦48 dB (氣鎮閥使用時57 dB) | ≦52 dB (氣鎮閥使用時57 dB) | ≦58 dB (氣鎮閥使用時66 dB) | |
| 漏率 | 1.0 x 10-7 Pa‧m3/s | 1.0 x 10-5 Pa‧m3/s | 1.0 x 10-7 Pa‧m3/s | |
| 進 / 排氣口法蘭 | NW25 / NW16 | |||
| 工作環境溫度 | 5~40 ℃ | |||
| 外型尺寸 | 單相 | 317 x 155 x 227 mm | 308 x 214 x 225 mm | 397 x 264 x 338 mm |
| 三相 | - | 367 x 264 x 338 mm | ||
| 淨重 | 單相 | 12 Kg | 14 Kg | 25 Kg |
| 三相 | - | 23 Kg | ||
| 水蒸氣處理量 | 3 g/day (氣鎮閥使用時) | 5 g/day (氣鎮閥使用時) | 25 g/day(氣鎮閥使用時) | |
| 氣鎮閥量 | 4 L/min | 9 L/min | 10 L/min | |
| 標準配備 | 氣鎮閥‧計時器、過熱保護器 | 氣鎮閥‧計時器、單相馬達附過熱保護器 | ||
| 電壓 | 單相 | 110 / 230V | 110 / 230V | |
| 三相 | - | 230 / 380 / 460V | ||
| 馬達輸出 | 0.1 kW | 0.15 kW | 0.4 kW | |